为了到达所需的高真空度，真空炉需求通过真空泵抽取内部气体，使得内部压强下降到一个可接受的规模内。真空泵包含机械泵、分子泵、分散泵等，它们会将真空炉的内部气体不断抽取并排放到大气中，直到到达所需的真空度。

不同物质制备需要不同的真空度规模，

真空炉是一种高温处理设备，一般需要在真空环境下进行操作。

不同的试验和制备过程需求不同的真空度，一般根据试验需求来确认所需的真空度。

热应力：由于炉内温度散布的不均匀性，真空炉石墨件可能会遭到热应力的影响，导致开裂或变形。

真空炉石墨件在真空炉中需求承载和支撑炉内物料或工件。这要求真空炉石墨件具有满足的强度和刚度，以承受高温文真空环境下的机械应力。

化学稳定性：石墨在真空炉中可能接触到各种化学物质，包含腐蚀性气体、熔融金属等。因而，真空炉石墨件需要具有杰出的化学稳定性，以抵抗这些化学物质的侵蚀和腐蚀。