真空炉石墨件在3000℃高温下仍保持稳定，兼具超强导热与抗热震功用，是航空航天、半导体等作业高温处理的中心资料。

真空炉石墨件绝非一般的工业耗材，而是集耐高温、导热导电、抗热震、高纯度等特性于一身的工程材料。

尽管性能优异，石墨件在实际运用中仍需注意其特性。例如，它在有氧环境下高温时会产生氧化，因而真空或惰性气体保护至关重要。

真空炉石墨件被广泛应用于单晶硅、碳化硅等半导体材料的晶体生长炉（如直拉法单晶炉）中，作为坩埚、加热器、隔热系统和籽晶夹持器。

这是真空炉最传统也是最中心的运用领域之一。在航空航天、精密东西、高端模具制作中，许多特种合金钢、硬质合金、钛合金等材料需要在无氧化、无脱碳的真空环境下进行淬火、退火、钎焊或烧结。

技术途径：选用等静压成型与高温石墨化工艺，制备灰分<50ppm、晶粒规范<5μm的高纯石墨。

石墨配件的纯度直接影响其功用和运用寿数。高纯度石墨具有更好的导电性和耐腐蚀性，但制备高纯度石墨的工艺凌乱，本钱较高。