真空炉内部还有一个重要的部分便是真空体系，它主要由真空泵和各种真空阀门组成。

为了保持炉膛内的高温状况，真空炉的内部还需要有隔热层。

结构形式：石墨加热器一般规划为棒状、管状或其他形状，以习惯不同的加热需求。

资料的纯度和结晶度：高纯度和高结晶度的石墨资料可以进步真空炉石墨件的耐高温功能和抗氧化才能。

当加热元件通电时，会发生高温，从而使炉膛内的物质加热。石墨棒比电阻丝愈加耐高温，在加热过程中不易损坏，因此被广泛应用于高温真空炉中。

真空炉的加热元件一般是由电阻丝或石墨棒制成的，其布置方法可所以水平的或笔直的。

连接部分则担任将石墨件与炉体或其他结构件连接在一起，通常选用金属材料制成，以确保在高温和真空环境下的稳定性和可靠性。