真空炉（vacuum furnace）是真空环境中进行加热的设备。在金属罩壳或石英玻璃罩密封的炉膛中用管道与高真空泵体系联接。炉膛真空度可达133×(10-2～10-4)h。炉内加热体系可直接用电阻炉丝(如钨丝)通电加热，也可用高频感应加热。温度可达3000℃左右。主要用于陶瓷烧成、真空锻炼、电真空零件除气、退火、金属件的钎焊，以及陶瓷-金属封接等

大部分加热与隔热材料只能在直空状态下使用：典空热处理炉的加热与隔热衬料是在真空与高温下作业的，因而对这此材料一提出了耐高温，蒸汽压低，辐射效果好，导热系数小等要求，氧化功能要求不高，所以，典空热处理炉广泛地选用了钨、铂和石墨等作加热与隔热构料、这此材料在大气状态下极易轨化，因而，常规热处理炉是不能选用这此加热与隔热材料。

真空炉是利用热媒水的相变进行热交换的，燃料燃烧释放出的热量被热媒水吸收，当温度上升至某真空状态下的饱和温度时，蒸发成饱和和蒸汽，完成一次相变过程。

真空炉（淬火、回火、退火）就是通过把资料或零件在真空状态下按工艺规程加热、冷却来到达预期功能的一种处理办法。

它适用于真空度在1.333～3×10Pa规模的真空热处理炉。中真空体系在真空热处理炉中使用广泛，其一般有两级真空泵机组组成。初级泵多选用旋转机械泵或滑阀式机械泵，主泵为机械增压泵（罗茨泵）或油增压泵。

控温精度：±1℃ 炉温均匀度：±1℃. 微电脑全主动控制，可编制多段升、保、降温曲线，全主动升温、保温、降温文超温维护，程序运行完毕主动中止，无须值守。

1、操作方便，手动/主动自在切换，可完成全主动操控，充沛避免工作过程中人为操作失误。