真空炉的内部结构是一种非常复杂的体系，其加热元件、隔热层、真空体系以及气体通道等组成部分的规划和运作都非常重要，关系到炉内物质的加热和处理作用。

在真空炉的运用过程中，为了达到某些特定的处理作用，有时需要在炉内参加特定的气体，此刻就需要运用气体通道。

真空炉内部还有一个重要的部分便是真空体系，它主要由真空泵和各种真空阀门组成。

为了保持炉膛内的高温状况，真空炉的内部还需要有隔热层。

结构形式：石墨加热器一般规划为棒状、管状或其他形状，以习惯不同的加热需求。

资料的纯度和结晶度：高纯度和高结晶度的石墨资料可以进步真空炉石墨件的耐高温功能和抗氧化才能。

当加热元件通电时，会发生高温，从而使炉膛内的物质加热。石墨棒比电阻丝愈加耐高温，在加热过程中不易损坏，因此被广泛应用于高温真空炉中。