真空炉一般由主机、炉膛、电热设备、密封炉壳、真空体系、供电体系、控温体系和炉外运输车等组成。密封炉壳用碳钢或不锈钢焊成，可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。为防止炉壳受热后变形和密封材料受热变质，炉壳一般用水冷或气冷降温。炉膛位于密封炉壳内。根据炉子用处,炉膛内部装有不同类型的加热元件，如电阻、感应线圈、电极和电子枪等。熔炼金属的真空炉炉膛内装有坩埚，有的还装有自动浇注设备和装卸料的机械手等。真空体系主要由真空泵、真空阀门和真空计等组成。

对真空炉进行修理后，要进行烘炉、有必要对真空炉进行真空检漏。真空炉烘炉前，可用1000V摇表检测真空炉的绝缘，正常不小于2MΩ。

真空炉炉膛内的压力能抽成低於大气压力的工业炉。真空炉用电加热﹐被加热的工件外表不氧化﹐不脱碳﹐变形小﹐机械性能好。用真空炉熔炼金属有利於除去杂质﹐制品针孔少﹐偏析小﹑质量好。真空炉适用於高质量﹑高纯度﹑难熔金属的熔炼和加热﹐例如用於钨﹑鉬﹑鉭﹑鈮﹑鈦﹑耐热合金钢的锻炼和磁性材料﹐电工材料﹑高强钢﹑不锈钢﹑工具钢﹑模具钢等的热处理。

真空烧结炉首要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺，可进行真空烧结，气体维护烧结及常规烧结。是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺配备，它规划构思新颖，操作方便，结构紧凑，在一台设备上可完结多个工艺流程。亦可用于其他领域内的真空热处理，真空钎焊等工艺。

在遇到突然停电、停水、停压缩空气等紧急状况,应马上采取以下应急办法:包括应急氮气、应急冷却水。

从产能来看，连续式烧结炉可以将脱脂与烧结一起完成，周期远远短于真空烧结炉，产量远远大于真空烧结炉。 从烧结后的产品质量来看，连续炉的烧出来的产品质量，外观，稳定性远高于真空炉。

真空烧结炉是运用感应加热对被加热物品进行保护性烧结的炉子，可分为工频、中频、高频等类型，能够归属于真空烧结炉的子类。真空感应烧结炉是在真空或保护气氛条件下，运用中频感应加热的原理使硬质合金刀头及各种金属粉末压制体完成烧结的成套设备，是为硬质合金、金属镝、陶瓷材料的工业生产而设计的。