真空炉的电热元件是经过辐射向工件传热，所以在其他条件相同时，真空炉的温度比非真空炉的要高。不过，只在低温炉中温度差别才比较显著。

真空炉炉膛内的压力能抽成低於大气压力的工业炉。真空炉用电加热﹐被加热的工件表面不氧化﹐不脱碳﹐变形小﹐机械性能好。用真空炉熔炼金属有利於除去杂质﹐成品针孔少﹐偏析小﹑质量好。

真空炉出现於20世纪30年代前后。1927年美国製成电工材料真空退火炉。1953年真空自耗电弧炉在工业上已用於熔炼海绵鈦。50年代前后真空感应炉在工业上得到广泛应用。1960年美国研製成油淬真空炉。

为保证窑炉温度安稳及满意快速升温的需求，配套的电气控制系统应该留有满意的电压调整余量——即：新棒时，在较低的电压下就能满意窑炉规划及运用功率；跟着运用时间的连续，棒的阻值变大，此刻需要相应地进步运用电压，来满意窑炉规划及运用功率。

在选取加热元件时也要根据自己所需处理产品的化学功用，以免加热元件的原料影响到工件的质量。因而，真空炉要合理的选取加热元件。

真空炉按加热元件分为真空电阻炉﹑真空感应炉﹑真空电弧炉﹑真空自耗电弧炉﹑电子束炉(又称电子轰击炉)和等离子炉等。

真空炉热处理工艺一般包括加热、保温、冷却三个过程，有时只要加热和冷却两个过程。这些过程相互联接，不行间断。