单晶硅 / 碳化硅衬底的高温退火炉、离子注入机加热系统，确保温度稳定性（±1℃），避免杂质污染；

公差规划的巨细直接影响到真空炉石墨配件的设备精度。假定公差过大，可能会导致配件之间的空位过大，影响设备的整体功用和稳定性。

真空炉石墨电极头的加工技术触及质料挑选与预备、成型与粗加工、精加工与后处理、特别工艺处理以及质量检测与包装等多个环节。

石墨电极：石墨电极的规范公差一般为02mm单边，规范料公差为01mm单边内为合格。这一公差规划保证了石墨电极在安装和使用过程中的稳定性和可靠性。

真空炉石墨螺母一般选用粗牙螺纹，这种螺纹形状可以更好地习气石墨材猜中的孔隙、杂质、晶粒等缺点，保证真空炉石墨螺母与石墨加热元件之间的紧密联接。

真空炉石墨横梁的主体结构一般由高纯度、高密度的石墨材料制成

真空炉石墨配件的公役规划并不是固定不变的，它遭到多种要素的影响，包含产品类型、规范规范、生产工艺以及客户定制需求等。