运用目视或放大镜仔细调查石墨件外表是否有明显的裂纹、剥落或烧蚀现象。 特别注意查看石墨件的边际和旮旯，这些区域更容易遭到损坏。

保证石墨件的规格、型号符合设备要求，并查看其外观是否有损坏或缺陷。 遵从设备制造商的装置指南和阐明，保证装置正确无误。

确认石墨件： 查看石墨件的类型、标准、数量是否与设备要求一致。 仔细查看石墨件的外观是否有损坏、裂纹、杂质等缺陷。

保证石墨件的标准、类型符合设备要求。 查看石墨件外观是否有损坏或缺陷。

石墨的纯度对其导热功能和耐热性有重要影响。高纯度的石墨具有更低的热阻，能够更好地传递热量，进步设备的加热效率。 杂质含量增加或许导致石墨的导热功能下降，影响真空炉的加热作用和温度均匀性。

真空炉石墨件的杂质含量规范会依据详细的使用需求、产品规格以及行业规范而有所不同。

等离子发射光谱法（ICP）： 原理：使用高纯等离子体炮击样品，使各元素产生能量跃迁并产生不同的光谱，经过剖析不同光谱的强度来直接标定各元素的含量。 特色：精度高，某些元素可以达到ppb级别，检出限较低，且能测试除惰性气体之外的绝大部分元素。