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石墨棒若均匀性差,会导致炉温分布不均,需选用高纯石墨(含碳量>99.9%)并优化规划空隙,避免与炉壁接触发生应力。
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多晶硅铸锭炉中的石墨加热器、护板及电极头,单晶硅PEVCD工艺中的石墨舟与石墨架,均依托石墨的高温稳定性和化学慵懒。
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耐高温与热稳定性:石墨在2500℃以下机械强度随温度升高而增加,尤其在1700-1800℃时表现最佳,远超金属和氧化物材料。
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石墨棒/管:作为中心发热体,经过电流直接加热,空心规划可提升电能利用率。
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石墨材料因其一起的物理化学特性,在真空炉作业中占有了不可替代的位置。
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真空淬火炉石墨件真空炉石墨导电杆在真空炉中起着至关重要的导电效果,其作业原理主要根据石墨的优异导电功用和特定环境下的物理特性。
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真空炉石墨横梁的承重才能评价是一个归纳性的过程,需求考虑多个方面的数据和信息。