真空炉石墨制品的功用验证与职业规范
为保证真空炉石墨制品在真空炉中的可靠性，需通过严峻的查验认证：
物理功用查验
    密度与孔隙率：选用阿基米德法测定密度，孔隙率需低于5%。
    机械强度查验：三点弯曲实验（ASTM D790）评估抗弯强度，紧缩强度需高于50 MPa。
高温功用查验
    热重分析（TGA）：评估资料在高温下的质量损失率，要求1500°C下失重率＜0.5%。
    热胀大系数查验：选用激光胀大仪测量，保证线性胀大系数。
化学兼容性查验
    腐蚀实验：将石墨件浸泡于熔融铝液或酸性溶液中，检测外表腐蚀深度与微观结构改变。
    气氛仿照查验：在真空炉中仿照实践工况（如H2、N2混合气氛），验证资料稳定性。
职业认证规范
    国际规范：ASTM C709（石墨资料查验）、ISO 8006（高温使用规范）。
    职业规范：半导体职业SEMI F47规范要求石墨件金属杂质含量≤1ppm。

想要了解更多真空炉石墨制品的内容，可联系从事真空炉石墨制品多年，产品经验丰富的滑小姐：13500098659。