真空炉石墨配件中的隔热组件1. 石墨硬毡/软毡 功用:包裹炉腔,减少热量散失。特性: 导热系数低(0.04~0.1W/m·K),节能效果显著;抗热震性强,急冷急热不破裂。2. 石墨隔热屏 功用:分层隔离热辐射,提升温场均匀性。 应用:半导体单晶炉、航空航天材料热处理。