真空炉石墨配件中的加热元件1. 石墨加热棒/管 功用:核心发热部件,利用电阻效应将电能转化为热能,工作温度可达3000℃(真空或慵懒气氛下)。 特色:升温快、热惯性小,表面功率密度需控制以防局部过热。
2. 石墨加热室 功用:容纳被加热物料,提供均匀高温环境。 使用:单晶硅成长、陶瓷烧结、金属热处理等精密工艺。