真空炉石墨配件的污染控制石墨蒸发物办理: 高温蒸发:>2000℃时石墨提高生成CO、CO2等气体,污染炉膛。解决方案: 装置冷凝捕集器(如铜冷阱)吸附蒸发物。 定期高温煅烧石墨件(在Ar气氛中),削减杂质含量。金属蒸气污染: 场景:炉内同时处理金属材料时,金属蒸气沉积在石墨外表。 对策:石墨件外表涂覆阻隔层(如SiC涂层),或选用石墨毡阻隔。