真空炉石墨配件的气氛操控惰性气体维护（如Ar、N2）： 使用场景：真空度缺乏时（如微正压工艺），防止石墨氧化。 操控方式：经过质量流量计（MFC）精确调理气体流量，维持压力安稳（如1~100Pa）。反应性气体操控（如C2H2、CH2用于碳堆积）： 效果：修复石墨表面微裂纹或增强抗烧蚀性。 风险：过量碳氢化合物可能生成游离碳污染炉膛，需调配剩余气体分析仪（RGA）监控。
