真空炉石墨风管的结构优化关键
为了保证真空炉石墨风管在高温环境下可以稳定运行,有必要对结构进行精细优化。以下是一些关键关键:
热膨胀补偿:经过选用波纹管结构或柔性连接,有效吸收高温膨胀,然后防止开裂现象。
气流均匀性:经过多孔规划或导流板的优化,保证气体在风管内分布均匀,特别适用于CVD炉进气等使用场景。
密封规划:在法兰连接处,选用石墨垫片或金属密封圈,保证真空环境下无泄漏。
支撑结构:为防止风管悬空过长,选用石墨或陶瓷支架涣散载荷,增强结构的稳定性。
