真空炉石墨发热元件的材料挑选石墨类型: 等静压石墨:各向同性,抗热震性强,合适复杂形状。 模压石墨:本钱低,但各向异性显着,适用于低应力场景。 C/C复合材料:高强度、耐烧蚀,用于极点高温(>2500℃)但本钱极高。纯度要求: 高纯度(灰分<50ppm)减少挥发污染,如半导体工艺需灰分<10ppm。