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真空炉石墨件的制作工艺控制
精细加工：
      五轴数控机床加工，刀具直径≤Φ2mm，主轴转速≥10,000rpm，确保表面光洁度。
      EDM（电火花）加工杂乱内腔，精度±0.02mm。
热处理：
      石墨化处理（2800℃/4h/Ar），消除内应力，提高导电均一性。
      预氧化处理（800℃/空气，30min），形成微氧化层，增强涂层附着力。