真空炉石墨支架头的资料挑选
真空炉石墨支架头作为承载工件或发热体的要害部件,其设计需在高温、真空及复杂热应力环境下满足机械强度、热稳定性与化学兼容性要求。
石墨类型:
等静压石墨(如西格里SGL系列):各向同性,抗弯强度≥60MPa,合适高精度支撑。
C/C复合资料:耐温>2500℃,抗热震性优异,用于极端热冲击场景(如快速升降温工艺)。
高纯石墨(灰分<50ppm):防止高温蒸发污染工件,适用于半导体或光学资料加工。
表面改性:
SiC涂层(CVD沉积,厚度50-100μm):提高抗氧化性至1600℃以上,减少表面粉化。
金属化处理(如镀钼):增强与金属件的触摸兼容性,下降触摸电阻。
