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真空炉石墨电极头的形状精度

真空炉石墨电极头的形状精度:微观层面的归纳操控
      界说:形状精度指石墨电极头实践形状与规划形状的契合程度,通常用形状差错标明,单位为毫米(mm)或微米(μm)。
中心目标:
直线度
界说:电极头轴线或边际的直线差错。
典型要求:
      一般精度:≤0.05mm/m(如电极头长度500mm时,最大差错≤0.025mm)。
      高精度:≤0.01mm/m(如光学模具加工用电极头)。
      检测办法:激光干涉仪或自准直仪丈量。
平面度
      界说:电极头端面或联接面的平坦程度。
典型要求:
      一般精度:≤0.03mm(如电极头底面)。
      高精度:≤0.01mm(如半导体加工用电极头)。
      检测办法:平面平晶+光隙法或三坐标丈量仪。
圆度
      界说:电极头横截面的圆形差错。
典型要求:
      一般精度:≤0.05mm(如电极头外圆)。
      高精度:≤0.01mm(如精密导电杆)。
检测办法:圆度仪或三坐标丈量仪。
圆柱度
      界说:电极头整体圆柱形状的差错(归纳直线度与圆度)。
典型要求:
      一般精度:≤0.1mm(如电极头本体)。
      高精度:≤0.02mm(如高精度导电柱)。
      检测办法:三坐标丈量仪多点采样核算。
笔直度
      界说:电极头侧壁与底面的笔直程度。
典型要求:
      一般精度:≤0.05mm(如电极头侧壁与底面夹角90°±0.05°)。
      高精度:≤0.01mm(如光学模具加工用电极头)。
      检测办法:三坐标丈量仪或直角尺+塞尺。