真空炉石墨配件中的加热元件
1. 石墨加热棒/管
功用：中心发热部件，运用电阻效应将电能转化为热能，工作温度可达3000℃（真空或慵懒气氛下）。
特征：升温快、热惯性小，外表功率密度需控制以防部分过热。
2. 石墨加热室
功用：包容被加热物料，供应均匀高温环境。
运用：单晶硅成长、陶瓷烧结、金属热处理等精细工艺。

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