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真空炉石墨配件的压力控制

真空炉石墨配件的压力控制(非纯真空场景)
正压维护:
在高温下通入惰性气体微正压(如10~100kPa),克制石墨氧化并平衡表里压力。
脉冲压力工艺:
用于化学气相渗透(CVI)等工艺,通过压力循环(增强气体分散效率。

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