真空炉石墨配件的压力控制
真空炉石墨配件的压力控制(非纯真空场景)正压维护: 在高温下通入惰性气体微正压(如10~100kPa),克制石墨氧化并平衡表里压力。脉冲压力工艺: 用于化学气相渗透(CVI)等工艺,通过压力循环(增强气体分散效率。
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