真空炉石墨配件的气氛控制
惰性气体保护（如Ar、N2）：
      运用场景：真空度缺少时（如微正压工艺），避免石墨氧化。
      控制方式：通过质量流量计（MFC）准确调度气体流量，保持压力安稳（如1~100Pa）。
反应性气体控制（如C2H2、CH2用于碳堆积）：
      效果：修复石墨表面微裂纹或增强抗烧蚀性。
      风险：过量碳氢化合物可能生成游离碳污染炉膛，需分配剩余气体分析仪（RGA）监控。