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真空炉石墨炉床板——高温工艺的终极解决方案

真空炉石墨炉床板——高温工艺的终极解决方案
1.极致耐高温
      3000℃+ 安稳运转 ,无软化变形,适用于超高温烧结、熔炼等严苛环境。
      低热膨胀系数 ,防止热应力开裂,保证长时间结构安稳性。
2.均匀热场分布
      高导热石墨质料,快速均匀传热 ,削减工件受热不均导致的变形或缺点。
      适用于单晶成长、CVD堆积 等对温度均匀性要求极高的工艺。
3.超高强度 & 轻量化
      抗压强度≥50MPa ,可承载重型工件(如大型合金铸锭、陶瓷坯体)。
      分量仅为金属床板的1/5 ,下降设备负载,节能高效。
4.超长运用寿数
      抗氧化涂层 (可选SiC、ZrO?),明显下降高温氧化损耗。
      耐化学腐蚀 ,抵抗酸/碱气氛腐蚀,寿数是传统资料的3-5倍。
5.定制化设计
      支撑异形开槽、孔位精准加工 ,匹配不同炉型与工件需求。
外表可抛光至Ra≤1.6μm,防止污染高纯资料(如半导体硅片)。
典型运用场景
      半导体 :SiC单晶成长、GaN外延片支撑
      新能源 :锂电池负极资料烧结、光伏硅片热处理
      航空航天 :钛合金真空钎焊、高温合金熔炼
      科研 :超高温试验(如石墨烯制备、金属粉末冶金)

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