真空炉石墨发热元件的材料选择
真空炉石墨发热元件的材料选择石墨类型: 等静压石墨:各向同性,抗热震性强,适宜杂乱形状。 模压石墨:本钱低,但各向异性明显,适用于低应力场景。 C/C复合材料:高强度、耐烧蚀,用于极点高温(>2500℃)但本钱极高。纯度要求: 高纯度(灰分<50ppm)减少蒸发污染,如半导体工艺需灰分<10ppm。
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