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真空炉石墨发热元件的材料选择

真空炉石墨发热元件的材料选择
石墨类型:
      等静压石墨:各向同性,抗热震性强,适宜杂乱形状。
      模压石墨:本钱低,但各向异性明显,适用于低应力场景。
      C/C复合材料:高强度、耐烧蚀,用于极点高温(>2500℃)但本钱极高。
纯度要求:
      高纯度(灰分<50ppm)减少蒸发污染,如半导体工艺需灰分<10ppm。

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