真空炉石墨件的制造工艺控制
精密加工：
五轴数控机床加工，刀具直径≤Φ2mm，主轴转速≥10,000rpm，确保表面光洁度。
EDM（电火花）加工凌乱内腔，精度±0.02mm。
热处理：
石墨化处理（2800℃/4h/Ar），消除内应力，前进导电均一性。
预氧化处理（800℃/空气，30min），形成微氧化层，增强涂层附着力。

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