真空炉石墨支架头的材料选择
真空炉石墨支架头的材料选择
真空炉石墨支架头作为承载工件或发热体的要害部件,其设计需在高温、真空及复杂热应力环境下满意机械强度、热稳定性与化学兼容性要求。
石墨类型:
等静压石墨(如西格里SGL系列):各向同性,抗弯强度≥60MPa,适宜高精度支撑。
C/C复合材料:耐温>2500℃,抗热震性优异,用于极端热冲击场景(如快速升降温工艺)。
高纯石墨(灰分<50ppm):避免高温蒸发污染工件,适用于半导体或光学材料加工。
表面改性:
SiC涂层(CVD沉积,厚度50-100μm):进步抗氧化性至1600℃以上,减少表面粉化。
金属化处理(如镀钼):增强与金属件的接触兼容性,下降接触电阻。
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