真空炉石墨件是真空炉中用于加热、支撑或导电的要害组件，由高纯度石墨制成，具有耐高温（可达3000℃）、抗热震和化学慵懒等特性，广泛应用于半导体、航空航天和新能源领域。
1.核心功用与技术参数
真空炉石墨件的功用直接影响设备效率，需满足以下苛刻要求：
材料特性：
纯度：需达99.9%以上（半导体领域要求99.99%），金属杂质含量低于10ppm，防止污染工件。
耐温性：在2500℃下保持稳定，抗热震性需承受500°C/min的温差骤变。
导电导热：电阻率8–15 μΩ·m，热导率按需调整（隔热件<10 W/m·K，散热件>100 W/m·K）。
2.工艺标准：
采用等静压成型保证密度≥1.85 g/cm3，标准精度±0.05mm。
表面需SiC或TaC涂层提升抗氧化性（1600℃下寿数超1000小时）。
3.典型应用场景
不同行业对石墨件的需求差异明显：
光伏多晶硅铸锭炉：
使用石墨加热器、保温罩，要求表面粗糙度Ra<1.6μm，防止硅料粘附。
航空航天烧结炉：
石墨模具需承受2000℃高温文50MPa压力，脱模后无碳残留。
锂电池碳化炉：
石墨舟皿需15–20%孔隙率，均匀输送裂解气体。
4.选购与供货商攻略
选购要害：
优先选择经过ASTM C709或SEMI F47认证的产品，保证杂质操控达标。
定制件需供给图纸，明确标准公役（如±0.1mm）和涂层要求。
