真空炉石墨配件有哪些
石墨真空炉配件品种丰厚，依据功用可分为加热元件、结构支撑件、导电衔接件、隔热组件及功用配件五大类。以下按类别具体阐明其功用与使用场景：
一、加热元件
1.石墨加热棒/管
功用：中心发热部件，使用电阻效应将电能转化为热能，工作温度可达3000℃（真空或慵懒气氛下）。
特色：升温快、热惯性小，外表功率密度需操控以防部分过热。
2.石墨加热室
功用：包容被加热物料，提供均匀高温环境。
使用：单晶硅生长、陶瓷烧结、金属热处理等精细工艺。
二、结构支撑件
1.石墨支架/料盘
功用：承托工件，确保高温下安稳支撑。
特性：低热胀大系数（约4.75×10⁻⁶/°C），防止热变形导致工件偏移。
2.石墨导轨/轴承
功用：引导物料移动，削减冲突损耗。
优势：自润滑性，无需额定润滑油，耐腐蚀且适应高速运转。
3.石墨螺丝/螺栓/螺母
功用：高温紧固件，代替金属螺丝在极点温度下衔接部件。
特色：耐2000℃以上高温，化学慵懒强，防止污染工艺环境。
三、导电衔接件
1.石墨导电杆/接头
功用：传输电流至加热元件，确保电路安稳。
要求：低电阻率（8-13×10⁻⁶ Ω·m），高纯度（固定碳≥99.99%）以削减能量损耗。
2.石墨衔接板
功用：整合多组电路，优化电流分配。
使用：大型真空炉的并联电路设计，防止电阻差异导致过载。
四、隔热组件
1.石墨硬毡/软毡
功用：包裹炉腔，削减热量散失。
特性：
导热系数低（0.04~0.1 W/m·K），节能效果显著；
抗热震性强，急冷急热不破裂。
2.石墨隔热屏
功用：分层隔离热辐射，提升温场均匀性。
使用：半导体单晶炉、航空航天资料热处理。
五、功用配件
1.石墨风扇叶片
功用：强制炉内气流循环，均衡温度分布。
优势：高温强度随温度升高而增加（2000℃时强度为室温2倍）。
2.石墨坩埚/烧结石墨箱
功用：盛放熔融金属或化学试剂。
特性：耐酸碱性、抗金属浸润，用于有色金属锻炼或CVD工艺。
3.石墨密封圈/垫片
功用：保证真空密封性，防止气体走漏。
适用场景：反应釜、泵阀体系。
六、使用与选型注意事项
1.防氧化处理：
非真空环境需慵懒气体（N?/Ar）维护，或选用抗氧化涂层（如陶瓷镀层）。
2.电气匹配：
多加热棒并联使用，防止因电阻差异导致部分过热。
3.原料等级：
精细工艺（如半导体）选用高纯等静压石墨（灰分<50 ppm）；
一般工业可用EDM石墨（成本低，加工速度快）。
总结：
石墨真空炉配件以耐高温、低胀大、化学慵懒为中心优势，掩盖从发热、支撑到密封的全流程需求。选型时需归纳温度、气氛及工艺精度要求，优先考虑高纯度与专业加工服务（如CNC定制），以确保设备高效安稳运转。
