真空炉石墨件被广泛应用于单晶硅、碳化硅等半导体材料的晶体生长炉（如直拉法单晶炉）中，作为坩埚、加热器、隔热系统和籽晶夹持器。在光伏工作，多晶硅铸锭炉也许多运用石墨热场。高纯石墨确保了硅料在熔化、结晶过程中不受污染，是提高晶片品质和光电转换功率的根底。

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