真空炉石墨件是真空炉中用于加热、支撑或导电的要害组件，由高纯度石墨制成，具有耐高温（可达3000℃）、抗热震和化学慵懒等特性，广泛使用于半导体、航空航天和新能源领域。
1.核心功用与技术参数
真空炉石墨件的功用直接影响设备功率，需满意以下苛刻要求：
材料特性：
    纯度：需达99.9%以上（半导体领域要求99.99%），金属杂质含量低于10ppm，避免污染工件。
    耐温性：在2500℃下保持稳定，抗热震性需承受500°C/min的温差突变。
    导电导热：电阻率8–15 μΩ·m，热导率按需调整（隔热件<10 W/m·K，散热件>100 W/m·K）。
2.工艺规范：
    选用等静压成型确保密度≥1.85 g/cm3，规范精度±0.05mm。
    外表需SiC或TaC涂层提升抗氧化性（1600℃下寿数超1000小时）。
3.典型使用场景
不同职业对石墨件的需求差异显着：
光伏多晶硅铸锭炉：
    使用石墨加热器、保温罩，要求外表粗糙度Ra<1.6μm，避免硅料粘附。
航空航天烧结炉：
    石墨模具需承受2000℃高温文50MPa压力，脱模后无碳残留。
锂电池碳化炉：
    石墨舟皿需15–20%孔隙率，均匀运送裂解气体。
4.选购与供货商攻略
选购要害：
    优先选择通过ASTM C709或SEMI F47认证的产品，确保杂质操控达标。
    定制件需供应图纸，清晰规范公役（如±0.1mm）和涂层要求。
举荐供货商：
    高精度件：东莞捷诚（支撑3D打印定制，单价约￥1900）。
    性价比件：河南六工（LG-2401类型，耐高温支架，￥20起）。
    工业级件：青岛宝丰（石墨转子、坩埚，批量价￥5–￥95）。

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