在真空炉中，石墨炉床板（Graphite Furnace Floor Plates）的查验进程需严峻点评其高温承载才能、热均匀性、抗热震性及化学稳定性。
1.查验前预备
(1)样品预处理
    清洁处理：用无水乙醇超声清洗（40kHz，15分钟）去除外表粉尘。高温烘烤（200℃×2h）去除吸附气体。
    尺度丈量：记载初始厚度（三点丈量取均值，精度±0.01mm）及平面度（激光干涉仪检测，过失≤0.1mm/m2）。
(2) 查验设备校准
    真空体系：保证极限真空（分子泵+机械泵组）。
    加热体系：热电偶（Type C或B型）校准至±2℃（参照NIST规范）。
2.基础功用查验（常温）
(1)机械强度查验
    三点曲折强度：跨距/厚度比=16:1，加载速率0.5mm/min，记载开裂载荷（规范值≥30MPa）。
    硬度查验：肖氏硬度计（HRS标尺），典型值60-80HRS。
(2)电阻率丈量
    四探针法：电流密度10A/cm2，丈量体积电阻率（规范值8-12μΩ·m）。
3.高温功用查验（分阶段）
(1)热循环查验
    榜首循环：RT→800℃，30min，红外热像仪检测温度均匀性（ΔT≤50℃）
    第二循环：800℃→1500℃，60min，激光测微仪丈量胀大量。
    第三循环：1500℃→2000℃，120min，调查外表氧化/掉落（重量丢掉≤0.5%）
(2)负载查验
    静态负载 ：施加1.2倍额外载荷（如300kg/m2），2000℃下保持4小时，检测变形量（容许≤0.5%厚度）。
    动态负载：模仿工件移动冲突（石墨滑块往复运动，速度5cm/s，100次循环），点评外表磨损（深度≤0.1mm）。
4.抗热震性查验
    急冷急热法：加热至1800℃并保温30分钟；快速投入室温去离子水中（Δt≤5秒）；
    重复10次后检测：裂纹扩展（显微镜观测，无贯穿裂纹）；强度保存率（≥70%初始值）。
5.化学稳定性查验
    质谱仪剖析挥发物，总碳丢掉≤0.1wt%/24h，腐蚀性气氛（H210%），重量法+SEM外表描摹剖析，无晶界腐蚀，粗糙度Ra≤2μm。
6.查验数据记载模板
    样品编号：GFP-2024-001  
    查验日期：2024-07-20  
1.常温功用  
    曲折强度：32.5MPa  
   电阻率：9.8μΩ·m  
2.高温查验 
   | 温度   | 保温时间 | 变形量 | 重量变化 |  
   |--------|----------|--------|----------|  
   | 1500℃ | 2h       | +0.3mm | -0.08%   |  
   | 2000℃ | 4h       | +0.7mm | -0.22%   |  
3.热震查验  
    循环10次后强度保存率：78%  
    最大裂纹长度：0.05mm（未贯穿）  
8.常见问题与解决方案
    床板边缘翘曲，径向温度梯度＞100℃，添加边缘辅佐加热+优化保温层厚度。
    外表颗粒掉落，石墨纯度缺少（灰分＞300ppm），替换高纯石墨（灰分≤100ppm）。
    高温电阻骤增，晶格结构氧化劣化，外表涂覆SiC抗氧化涂层（5-10μm）。
    通过上述查验流程，可全面点评石墨炉床板的极限工作温度（主张≤2200℃）和 使用寿命（＞500次热循环）。关于大尺度床板（＞1m2），需额外进行分区温度均匀性查验（容许ΔT≤80℃）。查验后主张进行XRD剖析，供认石墨晶体结构无相变（002峰位偏移≤0.1°）。