真空炉的“心脏部件”——石墨制品,以2800℃以下功能安稳、半导体级洁净度和导电导热可控三大优势,成为高端制作的隐形柱石。从发热体到密封件,它们在极点环境下保证工艺安稳性,支撑起半导体、航空航天等领域的精细制作。
在半导体芯片退火、航空航天材料烧结等高端制作领域,真空炉是中心设备,而真空炉用石墨制品则是其 “心脏部件”—— 从1000℃的硅片分散到2000℃的钛合金熔炼,从0.1Pa的高真空到惰性气体维护氛围,石墨制品以 “耐高温、抗腐蚀、低蒸发” 的特性,撑起了真空炉内的精细制作。
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