真空炉中的石墨件在高温、真空或惰性气体环境中作业，若保养不当，简略因多种原因导致损坏，影响设备功用和运用寿数。以下是常见的损坏类型及其成因和预防主张：
1.氧化与烧蚀
原因：
    炉体密封不良或真空度缺少时，残留氧气在高温下与石墨产生氧化反响（C+O2→CO2），导致外表疏松、强度下降甚至开裂。
预防措施：
    守时查看炉体密封性（如法兰、电极接口）。
    保证真空泵功用合格，保持炉内真空度。
    通入高纯度惰性气体（如氩气）作为维护气氛。
2.热应力开裂
原因：
    升降温速率过快导致石墨件表里温差大，热膨胀不均产生应力，尤其在杂乱形状部件（如加热器、联接件）中易引发裂纹。
预防措施：
    严峻遵照设备规则的升降温程序（如≤5℃/min）。
    防止急冷急热，停机后天然冷却至安全温度再开炉。
    守时查看石墨件外表裂纹（运用放大镜或探伤剂）。
3.机械危害
原因：
    设备/拆开时磕碰、东西划伤、过度紧固螺栓导致石墨脆性断裂，常见于薄壁结构或螺纹联接处。
预防措施：
    运用软质东西（如铜制扳手）操作，轻拿轻放。
    清洁时防止硬质刷子，改用无尘布或压缩空气。
    均匀施力紧固螺栓，防止部分应力会集。
4.污染与杂质腐蚀
原因：
    油污、金属粉尘或水汽残留，高温下与石墨反响生成碳化物（如SiC、金属碳化物），导致部分腐蚀或绝缘功用下降。
预防措施：
    守时用无水乙醇或丙酮清洁石墨件外表。
    防止直接接触金属熔体（如钎焊时运用石墨舟隔绝）。
    坚持炉内单调，预热去除吸附水分。
5.挥发物堆积腐蚀
原因：
    处理低熔点金属（如锌、铝）时，蒸气在石墨外表冷凝，渗透孔隙引发结构劣化。
预防措施：
    在石墨件外表涂覆抗氧化涂层（如SiC涂层）。
    运用高密度石墨（如等静压石墨）削减孔隙率。
    守时拾掇炉膛内壁堆积物。
6.高温蠕变变形
原因：
    长期承受高温（＞2000℃）及机械载荷（如支撑件），石墨逐步产生塑性变形，导致规范失稳。
预防措施：
    选用抗蠕变功用好的石墨资料（如细颗粒结构石墨）。
    设计时预留热膨胀间隙，防止过紧安装。
    守时检测关键部位规范，及时替换老化部件。
7.化学腐蚀（特定环境）
原因：
    在含氯、硫等活性气体的工艺中，石墨与气体反响（如C+Cl2→CCl2），加速腐蚀。
预防措施：
    挑选高纯度石墨（灰分＜100ppm）进步耐蚀性。
    工艺中严峻操控腐蚀性气体浓度。
    缩短此类工艺的运转时间，加强后续清洁。
8.真空放电击穿
原因：
    外表毛刺或污染物在高电压下引发电弧放电，构成部分烧蚀（常见于石墨加热器）。
预防措施：
    设备前打磨抛光石墨件外表，去除毛刺。
    坚持电极接触面清洁，涂抹导电膏削减接触电阻。
    操控作业电压在安全阈值内。
维护主张
    守时查看：每月目视查看氧化、裂纹，每年测电阻率点评老化程度。
    规范操作：练习人员按手册操作，防止人为失误。
    备件处理：储备易损件（如加热棒），挑选牢靠供应商（如东洋碳素、西格里集团）。
    通过体系维护，石墨件寿数可延长至3-5年，明显下降设备故障率。