真空炉的加热腔体一般由石墨、陶瓷等材料制造。
一、石墨材料
    石墨是一种高温耐蚀材料，被广泛用于真空炉的加热腔体。石墨具有高温稳定性、化学慵懒和杰出的热传递功用，是一个抱负的材料选择。此外，石墨材料还可根据真空炉操作环境的不同需求进行多种形式的改进。比如，石墨纤维增强材料，其强度和热稳定性均较纯石墨更强。
二、陶瓷材料
    陶瓷材料是真空炉加热腔体的另一种常见材料，利益在于抗高温特性和防腐蚀性较强。相同，陶瓷材料在真空炉使用时也具有多种特别种类。例如：氮化硅、碳化硅等，它们在高温下，具有很高的强度和较好的热稳定性，而且硬度很高，抗刮花洗差异度高。
    除了以上两种材料，还有一些低温钢、合金、陶瓷钢等材料也被用于真空炉加热腔体的制造中。
    真空炉是一个用于在低气压或真空环境下进行高温处理的设备，其加热腔体材料需求具备高温稳定性、抗腐蚀性和优异的热传递功用。常用的材料包含石墨、陶瓷以及一些低温钢、合金、陶瓷钢等。