石墨材料作为真空热处理炉加热元件在较低温度使用时，其蒸发丢掉很小，损坏多因为材料功用、应力损坏、氧化速度、机械电气缺点引起的损坏。石墨材料的材料对加热元件有较大影响，假定选择颗粒过粗，材料不均匀的石墨材料做加热元件，部分缺点会导致部分电阻过大，发生部分过热，导致使用寿命下降，甚至会烧断加热器；石墨加热器作业时发生的热应力会对其发生损坏。石墨在低温时导热功用出色，在高温时就下降为低温时的几分之一，构成真空热处理炉加热元件表面和心部的温度差，使断面伸长不一，发生热应力，损坏加热元件；石墨加热器的氧化生成物简略散逸，不会构成细密氧化膜保护层，然后使氧化接连进行，假定炉内密封欠好或惰性气体纯度不行会加重真空热处理炉加热元件的氧化；炉内工件材料蒸发凝集使石墨加热元件与绝缘件连电短路也会损坏真空热处理炉加热元件；当石墨加热元件与其它金属零件相互连接时，因为线膨胀系数不同大构成应力，使石墨件受揉捏或拉伸，加速石墨加热元件开裂；此外石墨件加工、设备质量对真空热处理炉加热元件的使用寿命也有非常显着的影响，石墨件触摸面光滑程度不行会使触摸电阻过大，烧坏真空热处理炉加热元件，设备时过松会出现因为触摸不良而发生的拉弧，然后烧坏加热器和接头，过紧则会因为石墨材料的塑性差而使其受力损坏。

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